サービス

純正部品からリバースエンジニアリング部品、修理から再生、リサイクルまでトータルサービスを提供しています。

Refurbish(プラズマプロセス用電極の再生処理/表面処理/長寿命化サービス)

​酸化/拡張、フォトリソグラフィー、イオン打ち込み、アニーリング、アッシング、エピタキシャル成長、PVD/CVD/MOCVD、スパッタリング、エッチングなどの前行程各種プロセス装置用部材、レーザーの再生

Repair(半導体製造装置用各種ユニットのリペア/リサイクルサービス)

●電気系ユニット

コンピュータボード/HDD/CRT/電源/モータコントローラボード/計測器/カメラ(CCD)DAT/フロッピードライブ/LCD/バーコードリーダー

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●機械系ユニット

​ディスペンサ/各種バルブ/マスフローコントローラー/搬送系システム/DIタンクの再生

Inspection(国内ユーザーのニーズにマッチングした輸入製品を供給するために受入/出荷検査体制の充実を図っております。)

LCRブリッジ/マルチメータ/オシロスコープ/パワーサプライ/ハイトゲージ/パワーメータ/表面粗さ計/膜厚計/ビンゲージ

計量・計測サービス

修理・校正サービス/NIST トレーサビリティー

半導体製造装置のすべての機材・機器に使われているものを修理します。

工業用カメラの修理・サービス

KLA-Tencor ADE Metrology装置でお困りの皆様へ

PLCコントローラ、モータコントローラの修理、同系品販売

​修理、再生(オーバーホール)

FD・MO・ZPドライブの修理、同系品販売

半導体/液晶製造装置の各種ユニットのメンテナンスサービス

コンピュータ修理、ハードディスクデータ復旧・復元

CIPソリューション