ウエハプロセス装置用
互換・スペア部品/材料

・He-Neレーザー ・YAGレーザー

・アルゴンレーザー ・UVレーザー

・エキシマレーザー ・真空ゲージ 

・真空スイッチ ・パワーサプライ 

・RFジェネレータ ・電源(パワーサプライ) 
・トラップ(モレキュラー、ステンレスシール、メッシュ、Cuメッシュ)
・ベアリング ・拡散ポンプ
・クライオポンプ ・ターボポンプ
・フィッティングバルブ ・スロットルバルブ
・ネジ ・ACモータ
・DCモータ ・サーボモータ
・イオン交換樹脂 ・イオンゲージ
・Oリング

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