CIPソリューション

アル株式会社ではグループ会社を通じて半導体会社最先端技術を提供しています。
AMAT/LAM(NOVELLUS)/TEL/SCREEN/ASM/ラムリサーチ/KLA/テンコールなどのCVD、PVD、エッチャー、チャンバーおよびその他周辺機器のCIP(Continuous Improvement Processes)専用の革新的なソリューションをお客様に提案しています。

​メインフレームとハードウェアの欠陥・損傷を改善

 

CIPソリューションの特徴

・キットや部品の長寿命化

・キットによる欠陥の低減

・機械の稼働率向上

・パーティクルの低減

・トータルコスト削減

​・PMサイクルの減少

​現在のプロセスで発生するほとんどの問題を改良したOEMキットを使用することで解決できるようになりました。

OEMハードウェアの主な欠陥パーツ

 

MOCVDチャンバー3つのソリューション

1) プロセスキット(MOCVD TiN Aaxel Kit CIP):パーティクルによる欠陥を低減し、アーキングを最小限に抑え、フィルムを均一にしてプロセスキット全体を向上させます。

2) ケミカルデリバリー(LFMコンボ):TDMATの利用を改善。パーティクルの蓄積を低減することによってメンテナンスを減少させ、全体的にウェーハの生産性が改善します。

3) ペデスタルヒーター(ヒーターCIP):温度差のばらつきを改善し、ヒーターの表面全体にわたって、より均一な加熱を生成し、ウェーハのチャッキングを改善します。

 

お問い合わせ

東京都品川区西五反田2-24-11 ALU BLDG.

TEL 03-3493-7958

FAX 03-3493-8736

 
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半導体製造装置のすべての機材・機器に使われているものを修理します。

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工業用カメラの修理・サービス

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KLA-Tencor ADE Metrology装置でお困りの皆様へ

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PLCコントローラ、モータコントローラの修理、同系品販売

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​修理、再生(オーバーホール)

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FD・MO・ZPドライブの修理、同系品販売

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半導体/液晶製造装置の各種ユニットのメンテナンスサービス

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コンピュータ修理、ハードディスクデータ復旧・復元

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CIPソリューション

 

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