CIPソリューション

アル株式会社ではグループ会社を通じて半導体会社最先端技術を提供しています。

AMAT / LAM(NOVELLUS) / TEL / SCREEN / ASM / ラムリサーチ / KLA / テンコールなどのCVD、PVD、エッチャー、チャンバーおよびその他周辺機器のCIP(Continuous Improvement Processes)専用の革新的なソリューションをお客様に提案しています。

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CIPソリューションの特徴

現在のプロセスで発生するほとんどの問題を

改良したOEMキットを使用することで解決できるようになりました。

・キットや部品の長寿命化

・キットによる欠陥の低減

・機械の稼働率向上

・パーティクルの低減

・トータルコスト削減

​・PMサイクルの減少​

 

MOCVDチャンバー3つのソリューション

1) プロセスキット(MOCVD TiN Aaxel Kit CIP)

パーティクルによる欠陥を低減し、アーキングを最小限に抑え、フィルムを均一にしてプロセスキット全体を向上させます。

2) ケミカルデリバリー(LFMコンボ)

TDMATの利用を改善。パーティクルの蓄積を低減することによってメンテナンスを減少させ、全体的にウェーハの生産性が改善します。

3) ペデスタルヒーター(ヒーターCIP)

温度差のばらつきを改善し、ヒーターの表面全体にわたって、より均一な加熱を生成し、ウェーハのチャッキングを改善します。

 

お問い合わせ

東京都品川区西五反田2-24-11 ALU BLDG.

TEL 03-3493-7958

FAX 03-3493-8736

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