KLA-Tencor ADE Metrology

装置でお困りの皆様へ

アル株式会社は業務拡大に伴い、米国TEKSOLI社と業務提携しました。

TELSOLI社はお客さまのニーズに合わせ、高価なKLA-Tencor/ADE機器の修理、品質保証、デリバリーなど様々な長期サポートサービスを、経験豊富なスタッフを通して提供しております。

KLA Tencor ADE Metrology装置でお困りの皆様へ
 

スペアパーツの供給

KLA-Tencor/ADE装置の多種多様な新規部品・再生品などの提供が可能です。

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修理・テクニカルサポート

安心・安全なサポートを目指しております。システム診断やトラブルシューティング、修理・システムの拡張などのテクニカルサポートとOEM製造で10年以上の経験があり、多くのお客さまから高い評価を頂いております。

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保守・トレーニング

当社の専門スタッフは、下記の分野で総合的な技術トレーニングを提供しております。

・機器サービス

・診断・障害の発見、トラブルシューティング

・予防・メンテナンス

・レーザ交換など

ほかにも、特定のモジュール形式のトレーニングコースも提供可能です。

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サポート対象装置

 

・SP1 Family : SP1-TBI、SP1-DLS、SP1 classic、SP1 EHII

・SP2 Family : SP2、SP2 EHII、SP2-XP

​​・Thin Film Measurement : UV1050、UV1080、UV1250、UV1280、F5X

・Surface Profilometer : Alphastep 500 P2、P11、P15、P20、P22、HRP320

​・SurfScan Wafer Inspection Systems : 4500、5000、5500、6XXX

・Prometrix Resistivity RS35、RS35A、RS75、RS100

・Tencor High resolution profiler HRP Series 200、240、300、340

・Tencor Stress measurement FLX series 2300、2320、5400

・KLA Defect Inspection AIT I、AIT II、AIT III、AIT XP、AITXP+、AIT UV

・KLA Defect Inspection 21XX

・UltraGafe : ADE9500

お気軽にご相談ください。

弊社は、半導体業界の進化に伴い、非常に競争力のある価格を実現します。

オリジナルメーカーと同様の高水準なサービスと専門知識を提供することが出来ます。

KLA-Tencer/ADE装置関連でお困りであれば、ぜひ弊社までご相談ください。

 

お問い合わせ

東京都品川区西五反田2-24-11 ALU BLDG.

TEL 03-3493-7958

FAX 03-3493-8736

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