半導体/液晶製造装置の

​各種ユニットのメンテナンスサービス

アル株式会社では、米国Gilbert Technical Services社との提携により、ワールドワイドに、現在稼働している150社以上の半導体/液晶製造装置の各種ユニットの設計及びメンテナンスサービスを行っています。

 
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修理項目

(1) 電気系修理項目

コンピュータボード、コントローラーPCBサポート、パワーサプライ、モータPCBボード、計測器の校正、レーザー(He-Ne,Ar,UV,エキシマ、YAG,DPY,etc)、RFジェネレーター、マッチングボックス、各種温調器(チラー)

(2) 機械系修理項目​

ディスペンス・ポンプ、スピン・モータ、ゲート・バルブ、スロットル・バルブ、アングル・バルブ、ディスペンス・チャンバー、インデクサー、トランスポート・アッセンブリー、マスフローコントローラー、アクチュエーター、ロボット

 

エレクトロニクス製品の修理

半導体製造装置メーカー150社以上の修理が可能

★コントローラPCBボード修理

★モーターPCBボード修理

★真空装置の制御修理

★パワーサプライ(電源)修理

★コンピュータボード修理

★各種レーザ装置修理

 

​装置名 装置メーカー

★ステッパー(フォトリン)装置

CANON,NIKON,GCA,SVG,Ultratech,ERKIN ELMER

★イオン注入装置

住友イートンノバ、VARIAN、日新電機,GENUS,APPLIED MATERIALS

★スパッター装置

APPLIED MATERIALS,VARIAN,ANELVA,MRC

★CVD装置

APPLIED MATERIALS,GENUS,ASM,Novellus,ETE,ASML

★エッチング装置

APPLID MATERIALS,LAM RESEARCH,TEL,TEGAL,ANELVA,日立

★メモリーリペアー装置

NIKON,ADVANTEST,GCS

★テスター装置

TELEDYNE,HP,LTX

★ボンディング装置

新川電機,K&S,KAIJO

★CMP装置

NOVELLUS,ONTRAK,STRASBAUGH

★洗浄装置

SEMITOOL,FSI,大日本スクリーン

★検査装置

KLA,GSI,NANOMETRICS,ADE,LTX,PROMETRIX,RUDLUGH

★UVキュア装置

AXCELIS,ウシオ電機

 

納期・品質保証に関しては柔軟性のある対応をさせて頂きます。

 

お問い合わせ

東京都品川区西五反田2-24-11 ALU BLDG.

TEL 03-3493-7958

FAX 03-3493-8736

 
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半導体製造装置のすべての機材・機器に使われているものを修理します。

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工業用カメラの修理・サービス

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KLA-Tencor ADE Metrology装置でお困りの皆様へ

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